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2026

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超光滑样品（Ultra-smooth Sample）工艺畸变...

摘要超光滑样品广泛应用于精密光学元件、半导体晶圆（Wafer）、微机电系统（MEMS）器件、钙钛矿功能薄膜等高端制造领域。样品在抛光、镀膜、转运制程中，易产生全域...

06

2026

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08

光学镜片微观形貌缺陷频发，白光干涉仪全维度把控镜头量产品

光学镜片（Optical Lens）量产加工过程中，受超精研磨、抛光工艺误差、工装夹持应力、环境粉尘及清洗工艺影响，极易产生各类微观形貌缺陷。常见缺陷包含微观划痕...

06

2026

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08

光学轮廓测量在核电级硬密封阀门平面度检测中的应用

核电级硬密封阀门（Nuclear-grade Hard-seal Valve）是核电管路系统核心承压密封构件，其密封面平面度（Flatness）直接影响机组高低压...

06

2026

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08

白光干涉仪（White Light Interferomet...

摘要超光滑样品（Ultra-smooth Sample）是半导体晶圆、精密光学基底、微机电系统（MEMS）基底等高端制造领域的核心基材，其抛光、化学机械抛光（Ch...

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