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| 物料名称 | 描述 | 备注 |
| 蓝宝石提升销 | LIFT PIN,SAPPHIRE,hd300mm | |
| 蓝宝石轴杆 | PIN, SAPPHIRE .183 ODX.18LG | |
| 陶瓷针顶座 | LIFT PIN,DPS,MESA(D2.3*82.4MM) | |
| 蓝宝石视窗 | 06-00-12-002-A SAPPHIRE WINDOW OD25*2 | |
| 金属螺丝 | C1 Screw,1.02LG,Top Spindle | |
| 陶瓷盖 | CAP, CAPTIVE, FIXED, PRODUCER，SE/GT | |
| D孔垫片（陶瓷） | D-WASHER 025 | |
| 陶瓷支撑 | HOLDER,WAFER,MORE RING,C3 ALTUS | |
| 陶瓷垫片 | SPRING, PEDESTAL, CERAMIC,C3 ALTUS | |
| 顶针定位件 | Holder, Lift Pin, 300mm Ultima X | |
| 间隙规盖子 | PLUG,GAP GAGE | |
| Flex45腔垫圈D-Washer | D-WASHER 025 | |
| 右finger固定块 | 右finger固定卡块 | |
| 导电接头 | PROBE POT IRISCELL,SABRE | |
| UE螺丝平垫片/六角 | Washer, Hex, Ring, Clamp, 300MM | |
| 特氟龙管道 | MANF, TEFLON FEED THRU, LID, CH PRDC | |
| 密封件（塑料件） | FECE SEAL GAS INJCT REVB | |
| 陶瓷喷嘴 | Top baffle PSG | |
| 密封垫片 | Gasket/Retainer,1/4 VCR, Nickel | |
| 左传感器支架 | sensor bracket, left | |
| 升降销 4000L 固定浮动 300MM | Tin Lift pin | |
| 陶瓷顶针 | LIFT PIN CERAMIC NOTCHED 3 | |
| 陶瓷U形卡子 |
CLIP,CERAMIC RETAINER,HOLDER,MORE, |
|
| 陶瓷方块 | INSERT,NUT,CERAMIC,1/4- 28 | |
| ESC盖帽Φ12.6L9.4 | ESC CAP | |
| 外电极八角螺丝 | ASSY, STUD, SOCKET.300MM | |
| 密封件（lip seal白色) | Lip Seal,1mm | |
| RPS 出口清洁管道 | #REF! | |
| 陶瓷隔绝环/陶瓷隔离器 | RF Isolator/RF Isolator TEOS | |
| 陶瓷板 | #REF! | |
| 陶瓷顶针座 | LIFT HOPP, PIN LIFT, 10.5″INCH | |
| 蓝宝石棒 | lift pin,sym3(S) | |
| C环 | CLIP, RETAINING, SYMMETRY DOOR MOUNT | |
| 垫片 | SHIM,CIRLEX SHIM SET TALON |
| 物料名称 | 英文描述 | 备注 |
| 蓝宝石提升销 | LIFT PIN,SAPPHIRE,hd300mm | |
| 蓝宝石轴杆 | PIN, SAPPHIRE .183 ODX.18LG |
| 物料名称 | 英文描述 | 备注 |
| 蓝宝石提升销 | LIFT PIN,SAPPHIRE,hd300mm | |
| 蓝宝石轴杆 | PIN, SAPPHIRE .183 ODX.18LG |
| 物料名称 | 英文描述 | 备注 |
| 蓝宝石提升销 | LIFT PIN,SAPPHIRE,hd300mm | |
| 蓝宝石轴杆 | PIN, SAPPHIRE .183 ODX.18LG |
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